技術編號：3343579
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及含有具有特定分子結(jié)構的金屬化合物的化學氣相成長(以下稱之為CVD)用原料和使用該原料的薄膜的制造方法。更具體地說，涉及含有具有特定的分子結(jié)構的鈦、鍺、鋯、錫、鉿或鉛的化合物的CVD原料，以及通過使用該原料的CVD法制造玻璃薄膜或陶瓷薄膜的方法。 背景技術 含有鈦、鍺、鋯、錫、鉿或鉛的4價金屬元素和硅的功能性薄膜具有特別的機械特性、電特性和光學特性，所以可望應用于半導體、電子零件、光學元件等。特別地，硅酸系光學玻璃薄膜適用于高速大容量通信系統(tǒng)的構件...
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