技術(shù)編號：3351759
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種研磨技術(shù)，且特別涉及一種可提供研磨液具有不同的流場分布的 研磨墊、研磨系統(tǒng)與研磨方法。背景技術(shù)隨著產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步，平坦化工藝經(jīng)常被采用為生產(chǎn)各種元件的工藝。在平坦化工藝 中，化學(xué)機(jī)械研磨工藝經(jīng)常為產(chǎn)業(yè)所使用。一般來說，化學(xué)機(jī)械研磨工藝是通過供應(yīng)具有化 學(xué)品混合物的研磨液于研磨墊上，并對被研磨物件施加一壓力以將其壓置于研磨墊上，且 在物件及研磨墊彼此進(jìn)行相對運(yùn)動。通過相對運(yùn)動所產(chǎn)生的機(jī)械摩擦及研磨液的化學(xué)作用 下，移除部分物件表層，而使其表面逐漸平...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。