技術(shù)編號(hào)：3356552
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種新型熱陰極電弧裝置，尤其是一種應(yīng)用于真空鍍膜機(jī) 上，將靶材加熱、蒸發(fā)、發(fā)射到工件上的一種新型熱陰極電弧裝置。 背景技術(shù)目前現(xiàn)有的熱陰極電弧的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，蒸鍍過程中浪費(fèi)材料，造成成本高，屏 蔽電磁的性能差，容易跑弧，磁場(chǎng)不穩(wěn)定，引弧裝置采用電磁引弧，回彈力量小， 運(yùn)動(dòng)速度慢，引弧針容易與靶材粘結(jié)形成短路，使設(shè)備無法正常工作，而且水冷 裝置容易漏水，傳統(tǒng)的金屬屏蔽結(jié)構(gòu)中，屏蔽罩與其它金屬之間又需絕緣，使得 整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，加工和裝配困難，成本...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。