技術(shù)編號：3358936
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種等離子化學(xué)氣相沉積裝置，尤其是一種用于氣相沉積的臥式多層陶瓷薄膜氣相沉積裝置。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的它包括沉積室、支架以及設(shè)置在內(nèi)支架內(nèi)的蝶閥、羅茨泵、機(jī)械泵，在所述的支架的上部橫置有沉積室，沉積室的兩端設(shè)有封頭，在沉積室內(nèi)部對應(yīng)設(shè)有長方形的上極板和下極板，沉積室上設(shè)有觀察窗，所述的沉積室的下部通過蝶閥和管道分別連接有羅茨泵和機(jī)械泵。所述的沉積室為圓柱型桶或橢圓型桶。所述的上極板和下極板通過支撐軌道平行安裝在沉積室內(nèi)。所述的沉積室內(nèi)...
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