技術(shù)編號：3363250
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域中的一種制作太陽能電池片的裝置，特別涉及一種制作太陽能電池片的刻蝕裝置，本發(fā)明還涉及了一種制作太陽能電池片的刻蝕方法。背景技術(shù)制作太陽能電池片的工序通常包括硅片檢測、硅片表面制絨、擴(kuò)散制PN結(jié)、去磷 硅玻璃、刻蝕、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、快速燒結(jié)等一系列工序。刻蝕工序是由于在擴(kuò)散制PN 結(jié)過程中，硅片的所有表面(正面、背面)包括邊緣都將不可避免地?cái)U(kuò)散上磷。PN結(jié)的正面 所收集到的光生電子會沿著邊緣擴(kuò)散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面，而造...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。