技術(shù)編號：3363961
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于透明導(dǎo)電薄膜領(lǐng)域，涉及，尤其涉及一種電感耦合等離子體增強物理氣相沉積法。背景技術(shù)透明導(dǎo)電膜技術(shù)始于20世紀(jì)初，隨著電子科技的發(fā)展，九十年代開始廣泛應(yīng)用于平面顯示器、透明加熱組件、抗靜電膜、電磁波防護膜、太陽能電池透明電極、防反光涂布及熱反射鏡等光學(xué)、電子及光電器件上。在平面顯示領(lǐng)域，液晶顯示成為現(xiàn)在與未來市場的主導(dǎo)產(chǎn)品，它的市場產(chǎn)值將呈幾何量級增長，據(jù)估計2015年全球整體液晶顯示產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值將達到1480億美元。在能源領(lǐng)域，太陽能作為一個無污染、可...
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