技術(shù)編號：3365610
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種成膜裝置，特別是涉及一種具有可拆卸式進出氣結(jié)構(gòu)的成膜裝置。背景技術(shù)液晶顯示元件、電激發(fā)光元件等各種顯示元件或薄膜太陽能電池的電極主要為具有可見光線透過率高，且電阻低的透明導電性薄膜。因此，透明導電膜成為完成現(xiàn)今各種顯示器元件中不可或缺的電極材料。例如氧化銦錫(IndiumTin Oxide, ΙΤ0)、氧化錫 (Tin Oxide, TO)、摻雜有氟的錫氧化物(Fluorine-doped Tin Oxide, FT0)或摻雜鋁的鋅氧化物(A...
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