技術(shù)編號：3374301
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于特種陶瓷材料制備，具體涉及一種熱解氮化硼板材的制備方法，并且還涉及該方法所用的氣相沉積爐。背景技術(shù)熱解氮化硼(簡稱PBN)，由于其具有并不限于的以下長處純度高、無毒、易加工和較高的高溫純度；耐酸、耐堿、耐鹽和耐有機溶劑；在高溫下與絕大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體材料不潤濕、不反應(yīng)；電絕緣性能好和高溫下無雜質(zhì)揮發(fā)；抗熱震性優(yōu)異、熱導(dǎo)性好和熱膨脹系數(shù)低；電阻高、介電強度高、介電常數(shù)小、磁損耗正切低并且具有良好的透微波和紅外線性能，等等。因此被用作半導(dǎo)體單晶及...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。