技術(shù)編號(hào):3378906
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種傳動(dòng)裝置,尤其涉及一種用于真空濺鍍的傳動(dòng)裝置。技術(shù)背景真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的一項(xiàng)重要技術(shù),近年來(lái)已經(jīng)逐漸取代噴導(dǎo)漆和電解電鍍的方式,大量應(yīng)用在光電,通信,半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè),成為重要的表面處理技術(shù)。一般在使用連續(xù)式傳輸?shù)恼婵諡R鍍裝置,是將基材整齊固定排放在標(biāo)準(zhǔn)化的承載盤(pán)上,由傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng),將承載盤(pán)平順的輸送到各個(gè)腔室進(jìn)行濺鍍。目前在真空濺鍍裝置中的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)是使用皮帶傳輸,但是,在真空濺鍍裝置腔體局部的高溫環(huán)境中,溫度高達(dá)...
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