技術編號：3384566
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種分配板，尤其是涉及一種平板硅外延爐腔體的分配板，屬于冷卻分配板。背景技術現(xiàn)有技術中的冷卻水分配板，譬如，意大利LPE公司的PE3061D設備的工藝腔體底部的水冷卻裝置，冷卻水主要集中在中心縫隙，不能很好的冷卻工藝腔體底部溫度較高處， 導致腔體在使用一段時間之后，腔體鍍金層被高溫氧化，導致鍍金層發(fā)黑、脫落，腔體鍍金層壽命只有7-9個月時間，較全新的腔體，工藝功率損耗大到10kw。如圖1所示。發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有的水冷卻裝置不能很好對工藝腔體...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。