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      研磨設(shè)備和研磨方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):3387395

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      本發(fā)明涉及一種,更具體地說,本發(fā)明涉及一種使用研磨磨料膜(在下文中稱為“研磨膜”或“膜”)作為工具的。背景技術(shù) 近年來對(duì)于高精度工件的需求的發(fā)展已經(jīng)引起對(duì)使用研磨膜完成超磨光的注意。如日本專利申請(qǐng)審定公開號(hào)No.7-237116中所披露的,對(duì)于超磨光來說,將研磨膜的研磨面壓在背部具有推擠底板的工件上,使得工件轉(zhuǎn)動(dòng)并且振動(dòng)以對(duì)其進(jìn)行研磨。發(fā)明內(nèi)容研磨膜的研磨面具有粘附于其上的大量磨粒,并且易于很快成塊,導(dǎo)致研磨性的惡化。在考慮了以上問題的基礎(chǔ)上作出了本發(fā)明。...
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