技術(shù)編號(hào)：3387963
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置本實(shí)用新型屬于金剛石材料制備，涉及化學(xué)氣相沉積法生產(chǎn)多晶金剛石膜的裝置，特別是ー種配置耐高溫金屬絲的裝置。背景技木采用化學(xué)氣相沉積法在異質(zhì)基底上生長出多晶金剛石薄膜，不但成本低，而且可沉積面積大，因此采用化學(xué)氣相沉積法生產(chǎn)多晶金剛石膜得到迅速發(fā)展。采用化學(xué)氣相沉積法在高溫環(huán)境內(nèi)制備多晶金剛石膜，需在真空環(huán)境內(nèi)的電極上裝配數(shù)根耐高溫金屬絲，耐高溫金屬絲在電流作用下產(chǎn)生熱能，但是耐高溫金屬絲在高溫環(huán)境下工作易產(chǎn)生形變，使工作參數(shù)不...
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