技術(shù)編號(hào)：3388244
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種噴淋頭，特別是涉及一種用于CVD工藝中具有新型結(jié)構(gòu)的噴淋頭。背景技術(shù)以GaN為代表的新一代半導(dǎo)體材料以其寬直接帶隙(Eg = 3. 4eV)、高熱導(dǎo)率、高硬度、高化學(xué)穩(wěn)定性、低介電常數(shù)、抗輻射等特點(diǎn)獲得了人們的廣泛關(guān)注，在固態(tài)照明、固體激光器、光信息存儲(chǔ)、紫外探測器等領(lǐng)域都有巨大的應(yīng)用潛力。在光信息存儲(chǔ)方面，以GaN為基礎(chǔ)的固體藍(lán)光激光器可大幅度提高光存儲(chǔ)密度。正因?yàn)檫@些優(yōu)點(diǎn)，GaN及其合金被寄予厚望。 目前商用GaN薄膜及其器件和紅黃光...
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