技術編號：3390576
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于一種汽相淀積金剛石的方法及裝置。更確切地說，本發(fā)明涉及一種均勻汽相淀積金剛石的高效方法及裝置，特別是一種在薄膜高的淀積速率下得到的具有足夠厚度、優(yōu)良膜質(zhì)量的金剛石膜。金剛石是一種碳的同素異形體，它顯示出金剛石結(jié)構(gòu)，具有高的莫氏硬度，其值為10，與其它材料相比，它具有優(yōu)越的熱導值，其值為2000W/MK。金剛石狀的碳也是公知的，它是同種元素的同素異形體。它雖然是非晶形，但透明且絕緣。這種產(chǎn)品還顯示出高的熱導值和硬度值，盡管其值低于金剛石的，這些因...
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