技術編號:3398521
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及鍍膜,特別是一種既能監(jiān)控規(guī)整膜系,又能監(jiān)控非規(guī)整膜系的計算機控制鍍膜裝置。背景技術 薄膜的制備,除了選擇適當?shù)牟牧虾椭苽涔に囃?,還必須精確的控制其厚度。厚度作為最重要的光學薄膜參數(shù)之一,它決定性地影響薄膜的力學性能、電學性能和光學性能;另一方面,幾乎所有的薄膜性質都與厚度有關。因此準確控制薄膜的厚度就成為制備光學薄膜的關鍵。圖1給出了本發(fā)明人發(fā)明的由人工監(jiān)控的光學膜厚監(jiān)控系統(tǒng)(申請?zhí)?00510024987.1,申請日2005年4月28日)的光路...
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