技術(shù)編號:3400917
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及蒸發(fā)源和具備該蒸發(fā)源的蒸鍍裝置,更詳細(xì)地說,涉及用于在大面積基板上蒸鍍有機(jī)物或?qū)щ娦晕镔|(zhì)的蒸發(fā)源和具備該蒸發(fā)源的蒸鍍裝置。背景技術(shù) 以有機(jī)電場發(fā)光顯示裝置為首的有機(jī)半導(dǎo)體裝置需要形成有機(jī)膜的工序。由于要形成所述有機(jī)膜的物質(zhì)是低分子或高分子而不相同,故膜的形成方法也就不同。在是所述高分子物質(zhì)的情況下,將所述有機(jī)物質(zhì)溶解在溶劑中,使用所述被溶解的有機(jī)物質(zhì)形成有機(jī)膜。所述有機(jī)膜是使用旋轉(zhuǎn)涂層、浸漬涂層、刮刀板和噴墨印刷等方法來形成的。在是所述低分子物質(zhì)...
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