技術(shù)編號(hào):3410961
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及涂布設(shè)備,其包括至少一個(gè)可抽空的接收部,該接收部用于接收基底;至少一個(gè)氣體供應(yīng)裝置,通過該至少一個(gè)氣體供應(yīng)裝置至少一種氣態(tài)前體可以被引入所述接收部中;和至少一個(gè)活化裝置,所述活化裝置包括至少一個(gè)可加熱的活化部件,所述活化部件的末端在緊固點(diǎn)處被緊固到保持部件,其中存在屏蔽部件,通過該屏蔽部件,至少所述緊固點(diǎn)可以至少部分地免受氣態(tài)前體的作用,所述屏蔽部件為大致圓柱形的設(shè)計(jì),并且在屏蔽部件的背對(duì)保持部件的側(cè)面上設(shè)置有閉合部件,該閉合部件具有至少一個(gè)出口...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。