技術(shù)編號(hào)：3411259
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種反應(yīng)器，尤其是化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器，該化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器帶有布置在反應(yīng)器殼體內(nèi)的可加熱的主體，帶有與主體間隔的、用于加熱主體的加熱裝置，以及帶有與主體間隔的冷卻裝置，該冷卻裝置這樣布置，使得從加熱裝置經(jīng)由加熱裝置和主體之間的間隙向主體傳遞熱量并且從主體經(jīng)由主體和冷卻裝置之間的間隙向冷卻裝置傳遞熱量。本發(fā)明還涉及一種用于對(duì)反應(yīng)器的工藝腔室中的基體進(jìn)行熱處理的方法，該工藝腔室由第一和第二壁構(gòu)成，所述方法尤其用于在化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器中沉積層，其中，基...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。