技術編號:3413557
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術真空鍍膜工藝在工業(yè)領域有著廣泛的應用,其中,TiN薄膜鍍覆在刀具或模具表面能大幅提高刀具和模具的使用壽命。然而,隨著金屬切削加工朝高切削速度、高進給速度、高可靠性、長壽命、高精度和良好的切削控制性方面發(fā)展,對表面被覆件的性能提出了更高的要求。傳統(tǒng)的單一 TiN被覆件在硬度、韌性等方面已經不能滿足要求。ZrN薄膜由于其硬度與韌性均優(yōu)于TiN薄膜而受到人們的廣泛關注。但單一的ZrN薄膜在硬度、抗氧化性等方面提高的空間不大,很難滿足現(xiàn)代工...
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