技術(shù)編號：3414178
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體，具體涉及一種薄膜晶體管(TFT)有源溝道層及其制備方法。背景技術(shù)近年來，液晶顯示技術(shù)得到了迅速的發(fā)展，薄膜晶體管尋址的液晶顯示器以其大容量，高清晰度和全彩色的視頻顯示成為液晶乃至整個(gè)平板顯示技術(shù)的主流，相關(guān)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)也成為目前的主要投資方向，受到人們的廣泛青睞。基于薄膜晶體管的液晶顯示器的顯示質(zhì)量和整體性能在很大程度上取決于薄膜晶體管的性能。隨著透明氧化物的深入研究，與傳統(tǒng)的非晶硅和多晶硅相比，一些金屬化合物的半導(dǎo)體材料也作為有源層用...
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