技術(shù)編號：3416715
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。 背景技術(shù)隨著市場競爭的日益激烈，生產(chǎn)成本已成為影響硅片生產(chǎn)公司發(fā)展的一個(gè)重要因素。硅片生產(chǎn)過程中，重要的一步處理工藝是對硅片進(jìn)行拋光處理?，F(xiàn)有技術(shù)中，拋光工藝主要采用拋光布墊拋光。每次拋光加工完成后，由于硅片的化學(xué)機(jī)械拋光產(chǎn)生的反應(yīng)物、 拋光液粒子的沉淀物及拋光布墊本身的磨耗等其他物質(zhì)，會(huì)使拋光布墊表面產(chǎn)生板結(jié)(硬化)現(xiàn)象，從而降低硅片的研磨速率，增加劃傷硅片表面的風(fēng)險(xiǎn)?，F(xiàn)有技術(shù)中，僅在每次拋光之后，使用水刀刷洗拋光布墊，無法徹底清除拋光...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。