技術(shù)編號(hào)：3425514
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種百葉窗系統(tǒng)，其能夠在打開位置與關(guān)閉位置之間操作，在關(guān)閉位 置避免表面不期望地暴露于輻射通量。背景技術(shù)當(dāng)今在工業(yè)中使用多種百葉窗系統(tǒng)來(lái)避免表面不期望地暴露于例如沉積工藝期 間的材料或者諸如紫外(UV)光或紅外(IR)光的電磁輻射的輻射通量。在關(guān)閉位置中，百 葉窗的屏蔽件位于必須要屏蔽的區(qū)域前面，并且在打開位置中，該屏蔽件移動(dòng)到位于遮蔽 區(qū)域外的位置。當(dāng)不是同時(shí)使用所有沉積源時(shí)，百葉窗有時(shí)在物理氣相沉積(PVD)工藝中使用。 例如，TiAl和Ti...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。