技術(shù)編號：3438673
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本披露總體上涉及二氧化鈰材料和用于形成二氧化鈰材料的方法以及系統(tǒng)。 背景技術(shù)研磨材料被用于不同的工業(yè)中以去除疏松物質(zhì)或影響產(chǎn)品的表面特征，例如光 澤、質(zhì)地(texture)及均勻性。例如，金屬部件制造商們使用磨料將表面精制(refine)并 拋光成均勻光滑表面。同樣地，光學(xué)器件制造商們使用研磨材料來生產(chǎn)防止所不希望的光 衍射以及散射的無缺陷表面。此外，半導(dǎo)體制造商們可對基片材料進行拋光以產(chǎn)生用于形 成電路部件的低缺陷表面。就某些應(yīng)用而言，制造商們典型地希望...
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