技術(shù)編號：3439094
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及精餾，特別是涉及三氯氫硅三塔差壓耦合節(jié)能精餾提純系統(tǒng)及操作方法。 背景技術(shù)三氯氫硅又稱三氯硅烷、硅氯仿，英文名稱trichlorosilane或silicochloroform，分子式為SiHCl3，用于有機(jī)硅烷和烷基、芳基以及有機(jī)官能團(tuán)氯硅烷的合成，是有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑中最基本的單體，也是生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的原料。 三氯氫硅是合成有機(jī)硅的重要中間體，也是制造多晶硅的主要原料。隨著多晶硅和有機(jī)硅產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，對三氯氫硅的需求量很大，但是受國外技術(shù)...
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