技術(shù)編號:3444570
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種高壓絕緣隔熱組件,是多晶硅還原爐中對電極棒及聚四氟起到絕緣、隔熱的專用新材料產(chǎn)品。背景技術(shù)氮化硅、95氧化鋁和99氧化鋁等具有絕緣性好、韌性高、耐高溫和抗震性好的特點,能滿足多晶硅還原爐的環(huán)境使用要求,已廣泛應用于多晶硅還原爐的高壓絕緣環(huán)護套材料,然而,隨著多晶硅還原爐不斷向大型化發(fā)展,對還原爐電極的絕緣隔熱環(huán)護套產(chǎn)品的絕緣性、抗熱震性等技術(shù)要求越來越高,特別是采用高壓擊穿的還原爐須兼顧高壓性、絕緣性,現(xiàn)有一體式的高壓絕緣隔熱環(huán)護套產(chǎn)品的...
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