技術(shù)編號(hào)：3454096
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種。該方法包括以下步驟將三氯氫硅粗液通過(guò)加熱系統(tǒng)進(jìn)行加熱，加熱至預(yù)定溫度；將加熱后的三氯氫硅粗液通入排氣罐，脫出不凝氣；將脫出不凝氣的三氯氫硅粗液通入提純塔組進(jìn)行提純，得到三氯氫硅產(chǎn)品；其中，預(yù)定溫度小于等于提純塔組的第一精餾塔進(jìn)料板壓力下的飽和溫度。該方法通過(guò)在三氯氫硅粗液進(jìn)入提純塔組之前對(duì)其進(jìn)行加熱，能夠使粗液中不凝氣的溶解度下降，進(jìn)而有利于粗液中的不凝氣被分離出來(lái)。然后將加熱后的粗液通過(guò)排氣罐，能夠?qū)⑵渲械牟荒龤馀懦觥＿@就有利于改善后期...
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