技術(shù)編號：3457013
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及磷酸的生產(chǎn)工藝，具體涉及一種用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)中濕法清洗和濕法蝕刻的超凈高純級磷酸生產(chǎn)工藝。背景技術(shù)長期以來，我國的半導(dǎo)體制造的相關(guān)材料對進(jìn)口一直有很大的依賴性，自主研發(fā)產(chǎn)品十分匱乏，特別是高純度電子化學(xué)品在主要的市場份額上基本全部依賴進(jìn)口。超凈高純級磷酸作為一種高附加值的精細(xì)磷化工產(chǎn)品，廣泛用于大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器等電子產(chǎn)品，主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻，用于清洗酸中的陽離子。其潔凈度對集成電路的電性能、成品率、可靠性有重要的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。