技術(shù)編號：3464063
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及多晶硅制造領(lǐng)域，特別是涉及一種高純多晶硅制備裝置。背景技術(shù)目前，用于生產(chǎn)太陽能級多晶硅的工藝方法主要有西門子法、硅烷法和流化床法。這三種方法實(shí)際上都須分成兩步，第一步是將工業(yè)硅(純度為98-99%)進(jìn)行氣化，經(jīng)多級提純獲得三氯氫硅(SiHCl3)、二氯二氫硅(SiH2Cl2)、硅烷(SiH4)等氣體；第二步再將上述高純氣體還原成聞純娃(多晶娃)。西門子法采用氯氣和氫氣合成氯化氫，氯化氫和工業(yè)硅粉在高溫下合成三氯氫硅，然后對三氯氫硅進(jìn)行化學(xué)精制...
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