技術(shù)編號：3465375
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種納米晶粒ニ氧化錫的電子束制備方法，可以實(shí)現(xiàn)材料和結(jié)構(gòu)的定區(qū)域定尺寸加工制備，屬于金屬氧化物材料制備和半導(dǎo)體器件制造エ藝。背景技術(shù)ニ氧化錫是ー種N型半導(dǎo)體材料，具有較寬的禁帶寬度(室溫下Eg = 3. 6eV)。由于其價(jià)格便宜、熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性較好，因此得到廣泛的關(guān)注和應(yīng)用。它是至今應(yīng)用最廣泛的氣敏材料，對大多數(shù)還原性氣體及毒害性氣體具有較好的響應(yīng)，并且反應(yīng)速度快，靈敏度高，通過摻雜不同元素可以實(shí)現(xiàn)對氣體的選擇性。ニ氧化錫還是ー種很好的 催...
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