技術(shù)編號：3468323
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及多晶硅的生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是涉及一種高致密結(jié)構(gòu)的多晶硅的制造方法及用于實施該方法的多晶硅還原爐。 背景技術(shù)多晶硅是制造集成電路襯底、太陽能電池等產(chǎn)品的主要原料。多晶硅可以用于制 備單晶硅，其深加工產(chǎn)品被廣泛用于半導(dǎo)體工業(yè)中，作為人工智能、自動控制、信息處理、光電轉(zhuǎn)換等器件的基礎(chǔ)材料。同時，由于能源危機和環(huán)境保護的要求，全球正在積極開發(fā)利用 可再生能源。太陽能是可再生能源中最引人關(guān)注的，因為其清潔、安全、資源豐富。利用太 陽能的一種方法是通過光電效應(yīng)將...
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