技術(shù)編號：3470913
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的目的在于獲得一種謀求無氮添加臭氧產(chǎn)生器單元的小型化的無氮添加臭氧產(chǎn)生單元，該無氮添加臭氧產(chǎn)生器單元附帶具有用于輸出高純度、高濃度的臭氧氣體的多個(gè)機(jī)構(gòu)的功能。而且，在本發(fā)明中，氣體配管集成模塊(30)具有多個(gè)內(nèi)部配管路線(R30a～R30f)，通過將上述多個(gè)內(nèi)部配管路線與向放電面涂敷有用于生成臭氧的光催化劑物質(zhì)的無氮添加臭氧產(chǎn)生器(1)、控制機(jī)構(gòu)(MFC(3)、氣體過濾器(51)及APC(4))、原料氣體供給口(14)、臭氧氣體輸出口(15)連結(jié)起來...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。