技術(shù)編號(hào)：3471986
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及包含具有0.01至20mm厚度的由多晶硅制成的外層的多晶硅棒。所述外層包含具有大于20μm的平均尺寸的微晶。本發(fā)明進(jìn)一步涉及通過將包括含有硅的組分并且包含氫氣的反應(yīng)氣體引入反應(yīng)器中用于生產(chǎn)多晶硅的方法，由此，以棒的形式沉積多晶硅，其特征在于，在第二步驟的沉積中棒的溫度相對(duì)于第一步驟升高至少50℃，在第二步驟的沉積中反應(yīng)氣體中含硅組分的濃度是5mol％或更小并且含硅組分的供應(yīng)是每1m2棒表面為0.25mol或更少。本發(fā)明進(jìn)一步涉及通過將包括含有硅的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。