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      硅提純裝置和硅提純方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):3472029

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      本發(fā)明提供了硅提純裝置,其使用一種環(huán)形保溫蓋作為用于將硅熔體表面保持在高溫的保溫手段,該環(huán)形保溫蓋可以在加熱坩堝的同時(shí)被替換,并具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)且容易制造,所述硅提純裝置能夠連續(xù)處理數(shù)十份進(jìn)料的硅而按原樣保持受熱的坩堝;使用該硅提純裝置的硅提純方法;和提純方法。本發(fā)明涉及硅提純裝置,其在配備有真空泵的減壓室內(nèi)配備有具有上端開(kāi)口并且其中收容硅的石墨坩堝,和用于加熱所述坩堝的加熱裝置,所述硅提純裝置的特征在于設(shè)置有環(huán)形保溫蓋,該環(huán)形保溫蓋在坩堝頂部覆蓋坩堝的開(kāi)口...
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