技術(shù)編號(hào)：3482040
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種三乙基鎵的合成方法，包括如下步驟在惰性氣氛的反應(yīng)器中加入鎵源與乙基鋁，維持混合體系的溫度在0～150℃，混合過程中或結(jié)束后進(jìn)行蒸餾即可得到三乙基鎵。本發(fā)明在合成三乙基鎵的方法中不使用任何溶劑，具有高效、產(chǎn)率高與選擇性高的優(yōu)點(diǎn)，且簡化反應(yīng)操作，顯著降低生產(chǎn)成本。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種三乙基鎵的制備方法。背景技術(shù) [0002]隨著半導(dǎo)體制造業(yè)的不斷發(fā)展，近年來，以氮化鎵為代表的III A族氮化物的發(fā)展非常迅速，成為半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域研究和...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。