技術編號：3488734
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及，尤其涉及一種用于半導體行業(yè)化學氣相沉積用電子級正硅酸四乙酯的制備方法，先用絡合劑絡合原料中大部分金屬雜質(zhì)后，用0.１微米的微孔過濾器過濾；通過陽離子交換塔、石英板式蒸餾塔、亞沸蒸餾器，嚴格控制溫度，去除微量金屬雜質(zhì)、乙醇及其有機雜質(zhì)和水份。采用常規(guī)提純設備，操作方便，利于工業(yè)規(guī)?；a(chǎn)，產(chǎn)品成本低。專利說明—種電子級正硅酸四乙酯的制備方法[0001]本發(fā)明涉及，尤其涉及一種用于半導體行業(yè)化學氣相沉積用電子級正硅酸四乙酯的制備方法。背景技術[00...
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