技術(shù)編號(hào):3543343
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及烷氧基硅烷中和提純方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)三烷氧基硅烷是有機(jī)硅工業(yè)中重要的中間體,其化學(xué)通式為HSi (OR)3,美國(guó)、德國(guó)學(xué)者傾向于R為包含6個(gè)碳原子以下的直鏈燒基,日本學(xué)者認(rèn)為R—般為小于4個(gè)碳原子的直鏈烷基。其中以三甲氧基硅烷和三乙氧基硅烷最為重要,二者可通過(guò)硅氫化反應(yīng)合成多種硅烷偶聯(lián)劑,或通過(guò)岐化反應(yīng)制備高純硅烷氣體,也可用于制備有機(jī)-無(wú)機(jī)雜化材料等。硅烷及多晶硅材料是以金屬硅為原料經(jīng)一系列的物理化學(xué)反應(yīng)過(guò)程提純后得到的超高純電子材料,是硅產(chǎn)...
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