技術(shù)編號(hào)：3547409
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。锍衍生物及其作為潛酸的用途本發(fā)明涉及帶有可聚合烯鍵式不飽和基團(tuán)的新型锍鹽，包含由所述化合物衍生的 重復(fù)單元的聚合物，包含所述化合物和/或所述聚合物的化學(xué)放大的光致抗蝕劑，以及所 述化合物和/或聚合物作為潛酸的用途，所述化合物和/或聚合物可通過用光化電磁輻射 及電子束照射而活化。在EP473547中描述了帶有不飽和雙鍵的鐺鹽，例如，4_丙烯酰氧基苯基二苯基锍 鹽，和包含所述鐺鹽的聚合物。在W02002-73308和SPIE (2001)記錄，4345，521...
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