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技術(shù)編號：3552583

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本發(fā)明涉及一種適于用作形成復(fù)合氧化物介質(zhì)薄膜的原料的有機鋯復(fù)合材料，所述復(fù)合氧化物介質(zhì)薄膜系采用金屬有機化學(xué)汽相沉積法(下文稱作MOCVD方法)形成，用于介電存儲器如FeRAM(鐵電隨機存取存儲器)或介電濾波器；涉及一種合成所述有機鋯復(fù)合材料的方法，涉及一種含有其的原料溶液，和涉及一種形成鋯鈦酸鉛(lead zirconatetitanate)薄膜的方法。更具體地說，本發(fā)明涉及一種適用于形成鋯鈦酸鉛(Pb(Zr，Ti)O3；PZT)薄膜的有機鋯復(fù)合材料及其...
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