技術(shù)編號：3563102
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及化工原料的制備方法和裝置。 背景技術(shù)硅烷，又稱單硅烷、硅甲垸、四氫化硅；英文名稱為Silane、 Mono silane、 Silicon tetrahydride、 Silicon hydride。硅烷是電子工業(yè)領(lǐng)域最重要的氣體材料 之一，是高純半導(dǎo)體芯片、多晶硅、硅外延膜、氮化硅膜等的主要原料，廣 泛應(yīng)用于多晶硅、太陽能電池、液晶顯示、光導(dǎo)纖維、有色玻璃制造等行業(yè)。 作為含硅薄膜和涂層的應(yīng)用已從傳統(tǒng)的微電子產(chǎn)業(yè)擴展到鋼鐵、機械、化工 和光學(xué)等...
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