技術(shù)編號：3573820
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種生產(chǎn)超凈高純醋酸的裝置。高純異丙醇主要適用 于微電子工業(yè)制造大規(guī)模集成電路半導(dǎo)體器件行業(yè)中作為清洗之用。屬微 電子化學(xué)試劑。(二) 背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體技術(shù)的迅速發(fā)展，對超凈高純試劑的要求越來越高。在集成電路(IC)的加工過程中，超凈高純試劑主要用于芯片及硅圓片表面的清洗和刻蝕，其純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性有著 十分重大的影響。超凈高純異丙醇作為一種重要的微電子化學(xué)品已經(jīng)廣泛用于半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路加工過程中的清洗、干...
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