技術(shù)編號(hào):3740762
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光加工過程中使用的拋光液,尤其是一種用于化學(xué)機(jī) 械拋光的無磨料拋光液,具體地說是一種硬脆材料化學(xué)機(jī)械拋光用無磨料拋光液。 背景技術(shù)化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、晶體、陶瓷、玻璃、金屬等材料的精密超精 密加工,是目前能夠?qū)崿F(xiàn)局部和全局平坦化的唯一實(shí)用技術(shù)。然而傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光的拋 光液含有硬質(zhì)磨粒,拋光過程中,拋光液中的硬質(zhì)顆粒容易劃傷、嵌入或吸附在被加工材料 表面形成加工缺陷,有凹坑、劃痕、微裂紋、顆粒嵌入或吸附等表面損傷。為了...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。