技術(shù)編號(hào)：3765690
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種涂布裝置，特別是關(guān)于一種用于涂布光阻材料的涂布裝置。背景技術(shù)在液晶顯示裝置制程工序中，需要在玻璃基板上均勻涂上一層特定厚度的光阻材料。一種現(xiàn)有技術(shù)涂布裝置是采用刮刀涂布的方式將光阻劑涂布到玻璃基板上。如圖1所示是現(xiàn)有技術(shù)刮刀式涂布裝置的示意圖。該刮刀式涂布裝置10包括一平臺(tái)16、一刮刀式噴嘴11、一光阻材料供應(yīng)裝置12及一噴嘴清洗槽15。該平臺(tái)16用來支持并固定待涂布的基板13。該刮刀式噴嘴11設(shè)于平臺(tái)16上方并與光阻材料供應(yīng)裝置12相連。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。