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      一種相變存儲器拋光液的制作方法技術資料下載

      技術編號:3799091

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      本發(fā)明公開了一種相變存儲器拋光液,其特征在于,包括下列重量份數(shù)的物質高泡增稠劑2-7份,烷基芳基磺酸鈉1-3份,空心玻璃微珠2-6份,甲基丙烯酸甲酯5-8份,氫氧化鋁5-8份,過氧化苯甲酰8-14份,鹽酸2-4份,除油劑3-8份,表調劑11-15份,硫酸鉀8-10份,無水硫酸鈉10-16份,乙酸正丁酯2-3份,硬脂酰胺1-3份。本發(fā)明的拋光液性能穩(wěn)定,拋光效果好,可滿足制備納電子相變存儲器中工藝的需要。專利說明一種相變存儲器拋光液 [0001]本發(fā)明...
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