技術編號：3800835
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種通過不停止對基板進行的處理而清洗細縫噴嘴，從而實現(xiàn)間歇時間的縮短的基板處理裝置。背景技術 作為使用于基板的制造工序的裝置，公知的是通過從細縫噴嘴向基板表面噴出抗蝕劑液等處理液而將抗蝕劑液涂敷到基板上的細縫涂敷機(基板處理裝置)。一直以來，根據(jù)基板的制造工序中提高生產性的要求，希望縮短基板處理的間歇時間，例如，在專利文獻1中記載了這樣的細縫涂敷機。在專利文獻1記載的裝置中，提出了由多個細縫噴嘴同時處理多個基板、從而實現(xiàn)間歇時間縮短的技術。專利文...
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