技術(shù)編號：3802631
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。應(yīng)用領(lǐng)域和現(xiàn)有技術(shù) 本發(fā)明涉及用于襯底表面處理的裝置及帶有這樣的裝置的設(shè)備、包 括傳輸機(jī)構(gòu)，其用于在傳輸機(jī)構(gòu)所確定的傳輸平面上輸送襯底，和至少 一個(gè)輸送機(jī)構(gòu)，用于用液體處理介質(zhì)濕潤襯底。本發(fā)明還涉及用處理介 質(zhì)濕潤面向下的襯底表面，優(yōu)選直接接觸或機(jī)械接觸的方法。從德國專利DE 102 25 848A1已知一種用來從平面襯底一個(gè)表面去 除一層的裝置和方法。這時(shí)，溶劑用噴嘴從上面傾斜噴射在襯底上。該 村底處于輸送輥上并被其傳送。該襯底伸出該傳送輥的至少一個(gè)側(cè)端...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。