技術(shù)編號:3805818
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在基板的第一表面與薄片的第二表面之間建立接觸的 方法。本發(fā)明還涉及使用該建立接觸的方法將模板圖案從撓性薄片轉(zhuǎn) 印到基板的方法。本發(fā)明進一步涉及用于執(zhí)行任一所述方法的設(shè)備。背景技術(shù)US 5669303公開了一種用于微接觸印刷的設(shè)備,該設(shè)備包括支 持結(jié)構(gòu);撓性印模,具有包括預(yù)定圖案且布置為與該支持結(jié)構(gòu)相對的 印模表面;壓力控制室,布置于該支持結(jié)構(gòu)上方;以及機械附件,附 著到該撓性印模。此外,US 5669303公開了一種用于微接觸印刷的方 法。在該方...
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