技術編號：3814072
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于拋光合成石英玻璃基板的拋光漿料，及利用該漿料制造合成石英玻璃基板的方法，該合成石英玻璃基板主要用于半導體相關電子材料，特別是先進電子應用。背景技術為了降低光刻形成圖案的特征尺寸，包括基板上缺陷的尺寸和密度、平整度、表面粗糙度、材料光化學穩(wěn)定性和表面化學穩(wěn)定性，需要考慮合成石英玻璃基板的品質因素。上述這些中，相應于IC技術趨向于更精細特征尺寸處理和磁介質趨向于更大容量，對基板上缺陷相關質量的要求日益嚴格。在這種環(huán)境下，開發(fā)出高靈敏度缺陷探測...
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