技術(shù)編號(hào):3819138
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于含有金屬離子氧化劑的 化學(xué)機(jī)械拋光組合物中的二羥基烯醇化合物ioooi]本申請(qǐng)要求2005年3月25日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng) 60/664930和2005年4月26日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)60/674678的優(yōu) 先權(quán),這兩篇各自獨(dú)立通過(guò)全文引用結(jié)合到本文中用于所有的目的。0002發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械拋光或電化學(xué)拋光,其中 所述拋光組合物包含l)水;2)任選的磨料;3)氧化劑,優(yōu)選過(guò)氧化 物型氧化劑;4)少量可溶性金屬離子氧化劑/拋光促進(jìn)劑、與顆粒例 如磨...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。