技術(shù)編號：39345906
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于激光，尤其涉及一種基于ld泵浦翠綠寶石晶體的高重頻nm激光器。背景技術(shù)、本部分的陳述僅僅是提供了與本發(fā)明相關(guān)的背景技術(shù)信息，不必然構(gòu)成在先技術(shù)。、nm激光位于深紫外波段(通常為nm至nm)，在高分辨率光譜學(xué)、光化學(xué)、光纖光柵制備、精密激光加工等領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的重要作用，尤其是在半導(dǎo)體集成電路制造等方面，nm激光是廣泛使用且不可或缺的一種光源。目前，在上述波段，市場份額占有率最大的為arf準分子氣體激光器；這種氣體激光器通過在高壓條件下將惰性氣體和反...
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