技術編號：39345963
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及碳化硅晶體制備，具體為一種碳化硅晶體生長設備。背景技術、碳化硅晶體是一種重要的半導體材料，其晶體結構具有多種形態(tài)，主要分為六方或菱面體的α-sic和立方體的β-sic兩大類，它具有一系列優(yōu)良的特性，比如高硬度、高熱導率、高化學穩(wěn)定性等，碳化硅在電子、電力、光電等領域有著廣泛的應用，在電子領域，可用于制作高溫、高頻、大功率的電子器件；在電力領域，可應用于制造電力電子器件，提高電能轉(zhuǎn)換效率和可靠性；在光電領域，對其特性的開發(fā)利用也在不斷深入，一般通過物理氣相傳輸法(pvt)、高溫化學氣相...
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